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Transmisor de presión de vacío absoluto de capacitancia HPM18LV 0-10V conector KF, CF y VCR

Transmisor de presión de vacío absoluto de capacitancia HPM18LV 0-10V conector KF, CF y VCR

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HPM18LV Capacitance Vacuum Gauge - V26.1.0.pdf

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Descripción general

HPM18LV es un vacuómetro capacitivo, también conocido como vacuómetro capacitivo de película delgada (CDG). Este producto utiliza un sensor capacitivo cerámico como elemento sensor y mide directamente la presión a través de una conexión de vacío. Su señal de salida analógica de 0-10 VCC es proporcional a la presión medida y no se ve afectada por el tipo y la composición del gas de proceso. Los materiales cerámicos poseen alta elasticidad, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y rápida disipación de calor, lo que le da a este vacuómetro una excelente estabilidad térmica y baja deriva de temperatura.

Solicitud

Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo+
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma

Características

Principio de película delgada capacitiva
Alta precisión y buena estabilidad
Excelente resistencia a la sobrecarga
La detección no se ve afectada por el tipo y la composición del gas.
Respuesta rápida y baja histéresis
Medición de presión directa: la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Admite varias interfaces de presión en la industria del vacío, como KF, CF y VCR

Descripción

Parámetros técnicos

Descripción general

HPM18LV es un vacuómetro capacitivo, también conocido como vacuómetro capacitivo de película delgada (CDG). Este producto utiliza un sensor capacitivo cerámico como elemento sensor y mide directamente la presión a través de una conexión de vacío. Su señal de salida analógica de 0-10 VCC es proporcional a la presión medida y no se ve afectada por el tipo y la composición del gas de proceso. Los materiales cerámicos poseen alta elasticidad, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y rápida disipación de calor, lo que le da a este vacuómetro una excelente estabilidad térmica y baja deriva de temperatura.

Solicitud

Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo+
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma

Características

Principio de película delgada capacitiva
Alta precisión y buena estabilidad
Excelente resistencia a la sobrecarga
La detección no se ve afectada por el tipo y la composición del gas.
Respuesta rápida y baja histéresis
Medición de presión directa: la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Admite varias interfaces de presión en la industria del vacío, como KF, CF y VCR

Rango de medición
Absoluto (kPa)	Presión nominal	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
	Sobrecarga	350	350	350	350	400	400	600	1000
Absoluto (torre)	Presión nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Sobrecarga	2600	2600	2600	2600	3000	3000	4500	7500
Absoluto (mbar)	Presión nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Sobrecarga	3500	3500	3500	3500	4000	4000	6000	10000
Nota: Para otros rangos de medición, contáctenos.
Medio de medición
Tipo		Varios gases compatibles con materiales de contacto
Señal de salida/fuente de alimentación
Estándar		0 ~ 10vdc /vs = 12 ~ 30 V _DC
Actuación
Exactitud		±0,1% FS (20 kPa, 100 kPa) ±0,25% FS (5 kPa, 10 kPa) ±0.5%FS (500Pa,1kPa,2KPa) ±1,5% FS (200 Pa)
Estabilidad a largo plazo		±0,50%FS/año, ≤1kPa ±0,25 %FS/año, >1 kPa
*La precisión cumple con IEC 60770 (no linealidad, histéresis, repetibilidad)
Condición ambiental
Rango de temperatura		Temperatura de trabajo: -40~125 ℃ (máx. 120 min a +125 °C) Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura de almacenamiento: -30 ~ 85 ℃
Grado de protección		IP40
Deriva de temperatura
Temperatura de compensación		-20 ~ 80 ℃
Deriva de temperatura del punto cero		±1,5% FS (dentro de la temperatura de compensación)
Temperatura deriva de escala completa		±1,5% FS (dentro de la temperatura de compensación)
Protección eléctrica
Protección contra cortocircuitos		Apoyo
Protección de polaridad inversa		Sin daños, el circuito no funciona
Estabilidad mecánica
Vibración		20G (20 ~ 5000Hz)
Resistencia al impacto		50 g (11 ms)
Aislamiento
Resistencia a aislamiento		>200MΩ @500VCC
Resistencia dieléctrica		<2mA 500VCA 1min