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Manómetro de vacío de capacitancia HPM18V, conexión KF16, transmisor de presión absoluta

Manómetro de vacío de capacitancia HPM18V, conexión KF16, transmisor de presión absoluta

El medidor de diafragma de capacitancia HPM18V es un medidor de vacío de alta precisión para medición de vacío medio y bajo, que ofrece rangos de 0,2 a 100 kPa, precisión de hasta ±0,1 %FS y salida de 4 a 20 mA, 0 a 10 V CC o RS485. Con un sensor capacitivo cerámico, proporciona medición de presión directa que no se ve afectada por la composición del gas, con excelente estabilidad, respuesta rápida y rendimiento confiable en aplicaciones de semiconductores, laboratorio, envasado al vacío y procesos de plasma.

Descarga de hoja de datos:
HPM18V Capacitance Vacuum Gauge - V26.1.2.pdf

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Medidor de diafragma de capacitancia HPM18V

Artículo	Especificación
Nombre del producto	Medidor de diafragma de capacitancia HPM18V
Tipo de producto	Medidor de película capacitiva (CDG)/medidor de vacío
Principio de medición	Principio de la película del condensador
Elemento sensor	Sensor capacitivo cerámico
Rango de medición	0,2 / 0,5 / 1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 100kPa
	2/5/10/20/50/100/200/1000 Torr
	2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 200 / 1000 mbar
Señal de salida/suministro	4~20mA/Vs=10~30 VCC
	0~5 VCC/Vs=8,5~30 VCC
	0~10 VCC/Vs=12~30 VCC
	RS485 / Vs=10~30 VCC
Exactitud	±0,1% FS (20 kPa, 100 kPa)
	±0,25% FS (5 kPa, 10 kPa)
	±0,5% FS (500 Pa, 1 kPa, 2 kPa)
	±1,5% FS (200 Pa)
Estabilidad a largo plazo	±0,50%FS/año para ≤1kPa
Estabilidad a largo plazo	±0,25 %FS/año para >1 kPa
Temperatura de funcionamiento	-40~125°C
	+125°C máx. 120 minutos
Temperatura ambiente	-30~85°C
Temperatura de almacenamiento	-30~85°C

Descripción general del medidor de diafragma de capacitancia HPM18V

HPM18V es un vacuómetro capacitivo, también llamado vacuómetro capacitivo de película fina (CDG). Este producto utiliza un sensor capacitivo cerámico como elemento sensible y mide directamente la presión mediante una conexión de vacío. Sus señales de salida analógicas, como 0-5 o 0-10 VCC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. La cerámica tiene las características de alta elasticidad, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y rápida disipación de calor, lo que hace que el vacuómetro tenga muy buena estabilidad térmica y baja deriva de temperatura.

El vacuómetro capacitivo HPM18V tiene una alta precisión de medición, una excelente resistencia a la sobrepresión y una excelente estabilidad a largo plazo. Su sensor cerámico resistente a la corrosión tiene compensación de temperatura, tiene un amplio rango de temperatura de funcionamiento y tiene buena estabilidad de punto cero. El vacuómetro es de tamaño compacto, fácil de usar y confiable, y es adecuado para mediciones precisas de vacío medio y bajo con composición de gas compleja.

Solicitud

Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma

Características

Principio de la película del condensador
Alta precisión y buena estabilidad
Tiene una excelente capacidad anti-sobrecarga
La detección no se ve afectada por el tipo de gas y la composición
Respuesta rápida y pequeña histéresis
Medición de presión directa, la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Apoya varias interfaces de presión KF, CF, VCR, etc. en la industria del vacío

Principio de medición

El vacuómetro capacitivo, también llamado vacuómetro de película capacitiva, funciona según el principio de cambio de capacitancia y consta de una parte de detección y un circuito de conversión. ~!phoenix_varIMG53!~

La imagen de arriba es un diagrama esquemático de la parte de detección. La parte de detección tiene dos cámaras, la cámara de vacío y la cámara de detección. La cámara de vacío es una estructura completamente sellada. Después de pasar la detección de fugas mediante el detector de fugas del espectrómetro de masas de helio, se agota durante un tiempo prolongado y, finalmente, el tubo de escape se sella para mantener un alto vacío a largo plazo. La placa de electrodo fija se encuentra en la cámara de vacío y sale de la cámara de vacío mediante el cable conductor del electrodo. El diafragma de detección se coloca entre la cámara de alto vacío y la cámara de detección del sistema de bajo vacío que se va a probar. La membrana de detección es una placa móvil que forma con la placa fija un condensador plano. La baja presión de vacío medida ingresa a la cámara de detección a través del orificio de detección, y el diafragma de detección se desvía, cambiando su distancia de la placa fija y el valor de capacitancia también cambia en consecuencia. Diferentes presiones de vacío bajas determinan diferentes valores de capacitancia.

La señal de capacitancia formada por la parte de detección se envía a la parte de conversión del circuito. La parte de conversión del circuito convierte la señal de capacitancia mediante transformación, clasificación, amplificación y conversión, y finalmente genera una señal de voltaje o corriente estándar. Esta señal eléctrica estándar se deriva de la señal capacitiva y es proporcional a la presión de vacío.

Etiquetas de diagrama esquemático

Adquiridor
Cámara de vacío
Salida de cable de placa
tubo de respiradero
Sellado después del escape
Tablero fijo
Diafragma de detección
Cámara de detección
Orificio de detección

Material de la estructura

Código de pedido	Pieza	Materiales
T4	Interfaz de presión	SS304
T6	Interfaz de presión	SS316L
educación física	Interfaz de presión	OJEADA
M6	Sensor	Cerámica Al2O3 99,9%
FK	Junta tórica	FKM Caucho fluorado
NÓTESE BIEN	Junta tórica	Nitrilo NBR

Dibujos de estructura

Tubo de 1/2' de diámetro exterior
Tubo de 1/4' de diámetro exterior
DN 16 ISO-KF
8 VCR, rosca hembra
4 VCR, rosca macho y 8 VCR, rosca macho
4 VCR, rosca hembra
M20X1.5

Conexión eléctrica

Hirschmann/DIN43650 / M12×1-4P / Salida cable / M12x1-4P con cable

Salida de corriente de dos cables de 4 ~ 20 mA

	Alimentación+ (+V)	Alimentación- (0V/+OUT)	Vacío
Hirschmann/DIN43650	1	2	3, 4
Salida de cable	Red	Negro	-
M12×1	1	2	3,4
M12×1 (con cable)	Marrón	Negro	azul, blanco

Salida de voltaje de tres cables 0~5V/10V

	Fuente de alimentación+(+V)	Tierra común (GND)	Salida(+OUT)	Vacío
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Salida de cable	Red	Negro	Azul	-
M12×1	1	2	3	4
M12×1(con cable)	Marrón	Negro	Azul	Blanco

Modbus-RTU/RS485 de cuatro hilos

	Alimentación+(+V)	Alimentación-(-V)	RS485A	RS485B
Hirschmann/DIN43650	1	2	3	4
Salida de cable	Red	Negro	Amarillo	Verde
M12×1,4P	1	2	3	4
M12×1(con cable)	Marrón	Negro	Azul	Blanco

Descripción

Parámetros técnicos