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HPM10V es un medidor de vacío piezoresistivo. Utiliza un sensor piezoresistivo de silicio como elemento sensible y mide directamente la presión utilizando una conexión de vacío. Sus señales de salida analógica, como 0-5 o 0-10 VDC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. El chip de silicio difuso dentro del sensor está encapsulado por un diafragma y cavidad de acero inoxidable de acero y cavidad. Una placa de circuito dedicada especialmente desarrollada garantiza un rendimiento estable y confiable y una apariencia compacta. El medidor de vacío piezoresistivo HPM10V tiene una alta precisión de medición y una excelente estabilidad a largo plazo. El sensor piezoresistivo de silicio interno de alta calidad se compensa con la temperatura y tiene un amplio rango de temperatura de funcionamiento. El medidor de vacío es pequeño en tamaño general, fácil de usar y confiable, y es adecuado para una medición de precisión de baja al vacío de composiciones de gas complejas.
HPM10V es un medidor de vacío piezoresistivo. Utiliza un sensor piezoresistivo de silicio como elemento sensible y mide directamente la presión utilizando una conexión de vacío. Sus señales de salida analógica, como 0-5 o 0-10 VDC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. El chip de silicio difuso dentro del sensor está encapsulado por un diafragma y cavidad de acero inoxidable de acero y cavidad. Una placa de circuito dedicada especialmente desarrollada garantiza un rendimiento estable y confiable y una apariencia compacta. El medidor de vacío piezoresistivo HPM10V tiene una alta precisión de medición y una excelente estabilidad a largo plazo. El sensor piezoresistivo de silicio interno de alta calidad se compensa con la temperatura y tiene un amplio rango de temperatura de funcionamiento. El medidor de vacío es pequeño en tamaño general, fácil de usar y confiable, y es adecuado para una medición de precisión de baja al vacío de composiciones de gas complejas.
Solicitud
Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma
Solicitud
Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma
Características
Principio piezoresistivo de silicio
Alta precisión y buena estabilidad
La detección no se ve afectada por el tipo de gas y la composición
Respuesta rápida y baja histéresis
Medición de presión directa, la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Suplupport varias interfaces de presión KF, CF, VCR, etc. en la industria del vacío
Características
Principio piezoresistivo de silicio
Alta precisión y buena estabilidad
La detección no se ve afectada por el tipo de gas y la composición
Respuesta rápida y baja histéresis
Medición de presión directa, la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Suplupport varias interfaces de presión KF, CF, VCR, etc. en la industria del vacío
Parámetros técnicos
Rango de medición | |||||||||
Absoluto (KPA) | Presión nominal | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sobrecarga | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Absoluto (torr) | Presión nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Absoluto (mbar) | Presión nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Nota: Para otros rangos de medición, contáctenos. |
Medio de medición | ||||
Tipo | Varios gases compatibles con materiales de contacto | |||
Señal de salida/fuente de alimentación | ||||
Estándar | 4 ~ 20MA / VS = 10 ~ 30 V DC | |||
Estándar | 0 ~ 5vdc /vs=8.5~30 V DC | |||
Estándar | 0 ~ 10vdc /vs = 12 ~ 30 V DC | |||
Estándar | RS485 /VS = 10 ~ 30 V DC | |||
Actuación | ||||
Exactitud | ± 0.25%FS (típico) ± 0.1%FS (opcional) * Solo para el rango P≥35kPAA | |||
Estabilidad a largo plazo | ± 0.30%FS/año, ≤35kPa ± 0.20%fs/año,> 35kPa | |||
*La precisión cumple con IEC 60770 (no linealidad, histéresis, repetibilidad) | ||||
Condición del medio ambiente | ||||
Rango de temperatura | Temperatura de trabajo: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura de almacenamiento: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grado de protección | IP65 | |||
Deriva de temperatura | ||||
Temperatura de compensación | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Temperatura deriva de punto cero | ± 1.0%FS (dentro de la temperatura de compensación) | |||
Temperatura deriva de escala completa | ± 1.0%FS (dentro de la temperatura de compensación) |
Parámetros técnicos
Rango de medición | |||||||||
Absoluto (KPA) | Presión nominal | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sobrecarga | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Absoluto (torr) | Presión nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Absoluto (mbar) | Presión nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Nota: Para otros rangos de medición, contáctenos. |
Medio de medición | ||||
Tipo | Varios gases compatibles con materiales de contacto | |||
Señal de salida/fuente de alimentación | ||||
Estándar | 4 ~ 20MA / VS = 10 ~ 30 V DC | |||
Estándar | 0 ~ 5vdc /vs=8.5~30 V DC | |||
Estándar | 0 ~ 10vdc /vs = 12 ~ 30 V DC | |||
Estándar | RS485 /VS = 10 ~ 30 V DC | |||
Actuación | ||||
Exactitud | ± 0.25%FS (típico) ± 0.1%FS (opcional) * Solo para el rango P≥35kPAA | |||
Estabilidad a largo plazo | ± 0.30%FS/año, ≤35kPa ± 0.20%fs/año,> 35kPa | |||
*La precisión cumple con IEC 60770 (no linealidad, histéresis, repetibilidad) | ||||
Condición del medio ambiente | ||||
Rango de temperatura | Temperatura de trabajo: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura de almacenamiento: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grado de protección | IP65 | |||
Deriva de temperatura | ||||
Temperatura de compensación | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Temperatura deriva de punto cero | ± 1.0%FS (dentro de la temperatura de compensación) | |||
Temperatura deriva de escala completa | ± 1.0%FS (dentro de la temperatura de compensación) |
HPM10V es un medidor de vacío piezoresistivo. Utiliza un sensor piezoresistivo de silicio como elemento sensible y mide directamente la presión utilizando una conexión de vacío. Sus señales de salida analógica, como 0-5 o 0-10 VDC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. El chip de silicio difuso dentro del sensor está encapsulado por un diafragma y cavidad de acero inoxidable de acero y cavidad. Una placa de circuito dedicada especialmente desarrollada garantiza un rendimiento estable y confiable y una apariencia compacta. El medidor de vacío piezoresistivo HPM10V tiene una alta precisión de medición y una excelente estabilidad a largo plazo. El sensor piezoresistivo de silicio interno de alta calidad se compensa con la temperatura y tiene un amplio rango de temperatura de funcionamiento. El medidor de vacío es pequeño en tamaño general, fácil de usar y confiable, y es adecuado para una medición de precisión de baja al vacío de composiciones de gas complejas.
Solicitud
Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma
Características
Principio piezoresistivo de silicio
Alta precisión y buena estabilidad
La detección no se ve afectada por el tipo de gas y la composición
Respuesta rápida y baja histéresis
Medición de presión directa, la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Suplupport varias interfaces de presión KF, CF, VCR, etc. en la industria del vacío
Parámetros técnicos
Rango de medición | |||||||||
Absoluto (KPA) | Presión nominal | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Sobrecarga | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Absoluto (torr) | Presión nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Absoluto (mbar) | Presión nominal | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Sobrecarga | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Nota: Para otros rangos de medición, contáctenos. |
Medio de medición | ||||
Tipo | Varios gases compatibles con materiales de contacto | |||
Señal de salida/fuente de alimentación | ||||
Estándar | 4 ~ 20MA / VS = 10 ~ 30 V DC | |||
Estándar | 0 ~ 5vdc /vs=8.5~30 V DC | |||
Estándar | 0 ~ 10vdc /vs = 12 ~ 30 V DC | |||
Estándar | RS485 /VS = 10 ~ 30 V DC | |||
Actuación | ||||
Exactitud | ± 0.25%FS (típico) ± 0.1%FS (opcional) * Solo para el rango P≥35kPAA | |||
Estabilidad a largo plazo | ± 0.30%FS/año, ≤35kPa ± 0.20%fs/año,> 35kPa | |||
*La precisión cumple con IEC 60770 (no linealidad, histéresis, repetibilidad) | ||||
Condición del medio ambiente | ||||
Rango de temperatura | Temperatura de trabajo: -40 ~ 100 ℃ Temperatura ambiente: -30 ~ 85 ℃ Temperatura de almacenamiento: -30 ~ 85 ℃ | |||
Grado de protección | IP65 | |||
Deriva de temperatura | ||||
Temperatura de compensación | 0 ~ 70 ℃, ≤35kpa; -10 ~ 80 ℃,> 35kpa | |||
Temperatura deriva de punto cero | ± 1.0%FS (dentro de la temperatura de compensación) | |||
Temperatura deriva de escala completa | ± 1.0%FS (dentro de la temperatura de compensación) |