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Medidor de vacío de capacitancia de alta precisión HPM18V con protector de diafragma, transmisor de presión absoluta

Medidor de vacío de capacitancia de alta precisión HPM18V con protector de diafragma, transmisor de presión absoluta

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HPM18V Capacitance Diaphragm Gauge-Datasheet.pdf

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HPM18V es un medidor de vacío con protector de diafragma, también llamado medidor de película capacitiva (CDG). Este producto utiliza un sensor capacitivo de cerámica como un elemento sensible y utiliza una contracción de vacío para medir directamente la presión. Sus señales de salida analógica, como 0-5 o 0-10VDC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. La cerámica tiene las características de alta elasticidad, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y disipación de calor rápido, lo que hace que el medidor de vacío tenga muy buena estabilidad térmica y deriva de baja temperatura.

Descripción

Solicitud

Características

Parámetros

HPM18V es un medidor de vacío con protector de diafragma, también llamado medidor de película capacitiva (CDG). Este producto utiliza un sensor capacitivo de cerámica como un elemento sensible y utiliza una contracción de vacío para medir directamente la presión. Sus señales de salida analógica, como 0-5 o 0-10VDC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. La cerámica tiene las características de alta elasticidad, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y disipación de calor rápido, lo que hace que el medidor de vacío tenga muy buena estabilidad térmica y deriva de baja temperatura.

Solicitud

Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo.
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado por plasma.

Características

Principio de la película del condensador
Alta precisión y buena estabilidad.
Tiene una excelente capacidad anti-sobrecarga
La detección no se ve afectada por el tipo y la composición del gas.
Respuesta rápida y pequeña histéresis.
Medición directa de presión, la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida

Admite varias interfaces de presión KF, CF, VCR, etc. en la industria del vacío

Parámetros técnicos

Rango de medición
Absoluto (kPa)	Presión nominal	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
Absoluto (kPa)	Sobrecarga	200	200	200	200	400	400	600	1000
Absoluto (Torr)	Presión nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
Absoluto (Torr)	Sobrecarga	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Absoluto（mbar）	Presión nominal	2	5	10	20	50	100	200	1000
Absoluto（mbar）	Sobrecarga	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Nota: Para otros rangos de medición, consúltenos.

Medio de medición	Varios gases compatibles con materiales de contacto.
Rango de presión	0~2Torr…1000Torr
Exactitud	±0,1% FS, ±0,25% FS, ±0,5% FS (sujeto al rango de medición)
Temperatura de trabajo	-40~85℃
Voltaje de suministro	10~30 VCC 8,5~30 VCC 12~30 VCC 10~30 VCC (sujeto a salida)
Señal de salida	4~20mADC, voltaje, RS485