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Descripción general
HPM18V es un medidor de vacío con protector de diafragma, también llamado medidor de película capacitiva (CDG). Este producto utiliza un sensor capacitivo de cerámica como un elemento sensible y utiliza una contracción de vacío para medir directamente la presión. Sus señales de salida analógica, como 0-5 o 0-10VDC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. La cerámica tiene las características de alta elasticidad, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y disipación de calor rápido, lo que hace que el medidor de vacío tenga muy buena estabilidad térmica y deriva de baja temperatura.
Solicitud
Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma
Características
Principio de la película del condensador
Alta precisión y buena estabilidad
Tiene una buena capacidad anti-sobrecarga
La detección no se ve afectada por el tipo de gas y la composición
Respuesta rápida y pequeña histéresis
Medición de presión directa, la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Apoya varias interfaces de presión KF, CF, VCR, etc. en la industria del vacío
Descripción general
HPM18V es un medidor de vacío con protector de diafragma, también llamado medidor de película capacitiva (CDG). Este producto utiliza un sensor capacitivo de cerámica como un elemento sensible y utiliza una contracción de vacío para medir directamente la presión. Sus señales de salida analógica, como 0-5 o 0-10VDC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. La cerámica tiene las características de alta elasticidad, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y disipación de calor rápido, lo que hace que el medidor de vacío tenga muy buena estabilidad térmica y deriva de baja temperatura.
Solicitud
Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma
Características
Principio de la película del condensador
Alta precisión y buena estabilidad
Tiene una buena capacidad anti-sobrecarga
La detección no se ve afectada por el tipo de gas y la composición
Respuesta rápida y pequeña histéresis
Medición de presión directa, la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Apoya varias interfaces de presión KF, CF, VCR, etc. en la industria del vacío
Rango de presión | 0 ~ 2Torr ... 1000Torr | ||||||||
Medio de medición | Varios gases compatibles con materiales de contacto | ||||||||
Rango de presión | 0 ~ 2Torr ... 1000Torr | ||||||||
Exactitud | ± 0.1%fs, ± 0.25%fs, ± 0.5%fs (sujeto al rango de medición) | ||||||||
Temperatura de trabajo | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Voltaje de suministro | 10 ~ 30vdc; 8.5 ~ 30 vdc; 12 ~ 30vdc; 10 ~ 30vdc (sujeto a salida) | ||||||||
Señal de salida | 4 ~ 20MADC, voltaje, rs485 |
Rango de presión | 0 ~ 2Torr ... 1000Torr | ||||||||
Medio de medición | Varios gases compatibles con materiales de contacto | ||||||||
Rango de presión | 0 ~ 2Torr ... 1000Torr | ||||||||
Exactitud | ± 0.1%fs, ± 0.25%fs, ± 0.5%fs (sujeto al rango de medición) | ||||||||
Temperatura de trabajo | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Voltaje de suministro | 10 ~ 30vdc; 8.5 ~ 30 vdc; 12 ~ 30vdc; 10 ~ 30vdc (sujeto a salida) | ||||||||
Señal de salida | 4 ~ 20MADC, voltaje, rs485 |
Descripción general
HPM18V es un medidor de vacío con protector de diafragma, también llamado medidor de película capacitiva (CDG). Este producto utiliza un sensor capacitivo de cerámica como un elemento sensible y utiliza una contracción de vacío para medir directamente la presión. Sus señales de salida analógica, como 0-5 o 0-10VDC, son proporcionales a la presión medida y no se ven afectadas por el tipo y la composición del gas de proceso. La cerámica tiene las características de alta elasticidad, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y disipación de calor rápido, lo que hace que el medidor de vacío tenga muy buena estabilidad térmica y deriva de baja temperatura.
Solicitud
Aplicación de vacío
Laboratorio e investigación y desarrollo
Industria de semiconductores
Envasado al vacío
Equipo de proceso de grabado de plasma
Características
Principio de la película del condensador
Alta precisión y buena estabilidad
Tiene una buena capacidad anti-sobrecarga
La detección no se ve afectada por el tipo de gas y la composición
Respuesta rápida y pequeña histéresis
Medición de presión directa, la señal de salida analógica es proporcional a la presión medida
Apoya varias interfaces de presión KF, CF, VCR, etc. en la industria del vacío
Rango de presión | 0 ~ 2Torr ... 1000Torr | ||||||||
Medio de medición | Varios gases compatibles con materiales de contacto | ||||||||
Rango de presión | 0 ~ 2Torr ... 1000Torr | ||||||||
Exactitud | ± 0.1%fs, ± 0.25%fs, ± 0.5%fs (sujeto al rango de medición) | ||||||||
Temperatura de trabajo | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Voltaje de suministro | 10 ~ 30vdc; 8.5 ~ 30 vdc; 12 ~ 30vdc; 10 ~ 30vdc (sujeto a salida) | ||||||||
Señal de salida | 4 ~ 20MADC, voltaje, rs485 |